In cleanroom- en vacuümomgevingen kan zelfs minimale vervuiling—zoals deeltjes, Vluchtige Organische Stoffen of uitgassende moleculen—grote gevolgen hebben voor yield, betrouwbaarheid en levensduur van systemen. Daarom draait succes niet alleen om een schone omgeving, maar vooral om geborgde processen en de juiste procesvloeistoffen, reinigingsmiddelen, materialen en smeermiddelen.

Cleanroom en vacuumtoepassingen maken een belangrijk deel uit van de productieomgeving in de halfgeleider, farmaceutische, medische, en optische industrie, lucht- en ruimtevaart en de high-end maakindustrie. Mavom ondersteunt klanten in deze sectoren met oplossingen voor:

• gevalideerde metaalbewerking
• precisie­reiniging
• low outgassing materiaalkeuze
• vacuümgeschikte smeermiddelen

ASML GSA & Omneo: van eis naar aantoonbaar geborgd proces

Binnen de halfgeleiderindustrie geldt ASML als benchmark voor reinheidseisen richting leveranciers. ASML hanteert hiervoor de GSA-richtlijnen (Generic Standard of ASML). Op dit moment is GSA Grade 2 Vacuum Cleanliness de norm binnen de toeleveringsketen aan ASML.

GSA Grade 2 vraagt om een gecontroleerd productie- en reinigingsproces, waarbij al tijdens het verspanen en het daaropvolgende reinigingsproces rekening wordt gehouden met de reinheidseisen. Het doel: ervoor zorgen dat alle geproduceerde onderdelen voldoen en goedgekeurd worden. First time right.

GSA Grade 1 is strenger dan Grade 2 en vraagt om extra beheersing van contaminatie—met name het voorkomen van HIO (Hydrogen Induced Outgassing)-relevante elementen op/aan het oppervlak. Dit is te realiseren door bijvoorbeeld reinigingsstappen te combineren (zoals dampontvetten in combinatie met een ultrasoon stap).

Omneo-certificering als procesborging

De Omneo-certificering richt zich primair op het borgen en valideren van processen die worden toegepast in cleanroom- en vacuüm omgevingen. Daarbij worden producten niet losstaand beoordeeld, maar altijd in samenhang met het proces waarvan zij onderdeel zijn. Tijdens de certificering worden onder meer de reinheid en procesbeheersing geverifieerd. Specifieke testen richten zich op deeltjes- en moleculaire contaminatie, evenals op het gedrag van materialen onder vacuümcondities. Hierbij spelen outgassing-parameters zoals Total Mass Loss (TML) en Collected Volatile Condensable Materials (CVCM) een centrale rol. Pas wanneer het volledige proces, inclusief de daarin gebruikte producten, aantoonbaar voldoet aan de gestelde eisen, wordt inzet in kritische hightech-toepassingen toegestaan.