In cleanroom- en vacuümomgevingen kan zelfs minimale vervuiling—zoals deeltjes, VOC’s of uitgassende moleculen—grote gevolgen hebben voor yield, betrouwbaarheid en levensduur van systemen. Daarom draait succes niet alleen om een schone omgeving, maar vooral om geborgde processen en de juiste procesvloeistoffen, reinigingsmiddelen, materialen en smeermiddelen.

Mavom ondersteunt klanten in onder andere semicon, medische technologie, optica, aerospace en high-end maakindustrie met oplossingen voor:

gevalideerde metaalbewerking
precisiereiniging
low outgassing materiaalkeuze
vacuümgeschikte smeermiddelen

ASML GSA & Omneo: van eis naar aantoonbaar geborgd proces

Binnen de halfgeleiderindustrie geldt ASML als benchmark voor reinheidseisen richting leveranciers. ASML hanteert hiervoor de GSA-richtlijnen (Generic Standard of ASML). In veel ketens is GSA Grade 2 Vacuum Cleanliness de norm, terwijl Grade 1 steeds vaker wordt gevraagd bij kritische onderdelen en processen.

GSA Grade 2 vraagt om een gecontroleerd productie- en reinigingsproces, waarbij al tijdens het verspanen en het daaropvolgende reinigingsproces rekening wordt gehouden met reinheid. Het doel: voorkomen dat je later “achteraf” moet repareren met extra reinigingsstappen.

GSA Grade 1 is strenger en vraagt meestal om extra beheersing van contaminatie—bijvoorbeeld door reinigingsstappen te combineren (zoals dampontvetten plus een ultrasoonstap), én door handling/verpakking verder te borgen.

Omneo-certificering als procesborging

Voor het valideren van processen en gebruikte middelen werkt Mavom met Omneo-certificering. Hierbij worden producten niet losstaand beoordeeld, maar altijd in samenhang met het proces waarvan ze onderdeel zijn. Tijdens validatie wordt onder meer gekeken naar deeltjes- en moleculaire contaminatie en gedrag onder vacuümcondities, inclusief outgassing-parameters zoals TML en CVCM.

Dit resulteert in het bouwen van aantoonbare zekerheid, in plaats van achteraf issues oplossen.

Een geborgd cleanroom/vacuümproces vraagt samenhang in de keten:

Materiaalkeuze & verwerking - voorkomen van outgassing en resid
Metaalbewerking - lage residuvorming, stabiele procesvoering
Reiniging - passende route voor films, deeltjes en ionisch
Handling, verpakking en logistiek - voorkomen van recontaminatie
Validatie & testen - bijv. reinheid aantonen; o.a. RGA kan onderdeel zijn

Wilt u bepalen welke route past bij uw componenten, processtappen en reinheidseisen?
Neem contact op voor een proces- en productadvies (incl. mogelijkheden voor validatie).